特許
J-GLOBAL ID：200903067228688293
チタン金属へのガラス状カーボンの被覆方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-129025
公開番号（公開出願番号）：特開平11-043770
出願日： 1998年05月12日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 チタン金属の表面に非晶質性の高い均質なガラス状カーボン被膜を形成し、またそのようなガラス状カーボン被膜をチタン金属の表面に効率よく薄膜に形成することである。【解決手段】 研磨剤としてエメリー紙、アルミナおよび酸化クロムの懸濁液を用いたバフ研磨などによってチタン金属1の表面を研磨して鏡面1aを形成し、この鏡面1a上に緻密で強固なチタン酸化物の被膜層2を形成し、このチタン酸化物の被膜2の表面をメタン、エタン、プロパンなどの炭化水素系ガスを含有する0.1〜30torr、400〜1100°Cの雰囲気内でプラズマ熱処理してガラス状カーボン被膜3をチタン金属表面に形成する。
請求項（抜粋）：
チタン金属表面にチタン酸化物の被膜を緻密に形成し、このチタン酸化物の被膜の表面を炭化水素系ガス含有の0.1〜30torr、400〜1100°Cの雰囲気内でプラズマ熱処理することによりガラス状カーボンを被覆することからなるチタン金属へのガラス状カーボンの被覆方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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