特許
J-GLOBAL ID：200903067230163009
シャワープレート
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-078162
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274087
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 シャワープレート4の反りの防止と流通孔22の精度の向上とを両立し、半導体製造装置に用いた場合に成膜やエッチングのプロセスの均一性を得る。【解決手段】 シャワープレート本体11に複数の貫通孔12を設ける。シャワープレート本体11の貫通孔12に、流通孔22を有する流通部材21を嵌合する。シャワープレート本体11には反りを防止可能とする材質や厚みを採用し、流通部材21には孔加工の容易な材質や厚みを選択して流通孔22の精度の向上を図る。シャワープレート本体11と流通部材21とを組み合わせて用いることで、半導体製造装置に用いた場合に成膜やエッチングのプロセスの均一性を得る。
請求項（抜粋）：
複数の貫通孔を有するシャワープレート本体と、このシャワープレート本体の貫通孔に嵌合された流通孔を有する流通部材とを具備していることを特徴とするシャワープレート。
IPC (4件)：
H01L 21/205
, C23C 16/44
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
H01L 21/205
, C23C 16/44 D
, C23F 4/00 A
, H01L 21/302 B
