特許
J-GLOBAL ID：200903067234625805

液滴計測装置、液滴計測方法、液滴塗布装置及びデバイス製造装置並びに電子機器

発明者：
木下 豊太郎

木下 豊太郎 について

, 
小松 朗

小松 朗 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-231916
公開番号（公開出願番号）：特開2006-047235
出願日： 2004年08月09日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】 簡易な構成でありつつも、実際の液滴を1滴ごとに高速に計測可能な液滴計測装置および液滴計測手段を提供すること。【解決手段】 液滴180の飛翔経路にレーザ光130を発生するレーザ光発生部120と、レーザ光130の強度を電気信号に変換する光電変換部150と、該電気信号を処理する信号処理部160とを備え、該信号処理部160は、前記液滴が前記レーザ光を通過するときの前記光電変換部150の信号強度と該液滴の重量との関係式を記憶しており、該関係式に基づいて、前記光電変換部150から入力された信号強度に対応する液滴の重量を計算する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液滴の飛翔経路にレーザ光を発生するレーザ光発生手段と、前記レーザ光の強度を電気信号に変換する光電変換手段と、該電気信号を処理する信号処理手段とを備え、 該信号処理手段には、前記液滴が前記レーザ光を通過するときの前記電気信号の強度と該液滴の重量との関係式が記憶されており、該信号処理手段は該関係式に基づいて、前記光電変換手段から入力された信号強度に対応する液滴の重量を計算することを特徴とする液滴計測装置。
IPC (8件)：
G01G 9/00 ,  B05C 5/00 ,  B05C 11/00 ,  G01B 11/28 ,  G01F 13/00 ,  G01F 22/00 ,  G01G 17/04 ,  B41J 2/175
FI (8件)：
G01G9/00 ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/00 ,  G01B11/28 Z ,  G01F13/00 301V ,  G01F22/00 ,  G01G17/04 D ,  B41J3/04 102Z
Fターム (32件)：
2C056EB29 ,  2C056KD10 ,  2F065AA58 ,  2F065AA59 ,  2F065BB15 ,  2F065CC00 ,  2F065CC17 ,  2F065FF44 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH11 ,  2F065LL08 ,  2F065RR10 ,  2F065UU01 ,  2F065UU05 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA34 ,  4F041BA38 ,  4F041BA57 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA27 ,  4F042AB00 ,  4F042BA02 ,  4F042BA22 ,  4F042CB07 ,  4F042DH09
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • インクジェット式印刷装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-329322   出願人：日立工機株式会社
  • 液体噴射装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-296422   出願人：セイコーエプソン株式会社
  • 液体噴射装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-296421   出願人：セイコーエプソン株式会社

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