特許
J-GLOBAL ID：200903067243570134
金属表面処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-180164
公開番号（公開出願番号）：特開平5-001365
出願日： 1991年06月25日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】低温により処理が可能で、而も強固で緻密な生成膜を形成する。【構成】反応ガス雰囲気中で、被処理物14を一方の電極としてプラズマを発生させ、被処理物表面に生膜させものであり、プラズマを利用して表面処理を行い、低温で処理膜を生成し、低温下で緻密で強固な生成膜を生成する
請求項（抜粋）：
反応ガス雰囲気中で、被処理物を一方の電極としてプラズマを発生させ、該被処理物の表面処理を行うことを特徴とする金属表面処理方法。
IPC (2件)：
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