特許
J-GLOBAL ID：200903067272418872
軌道曲率の光学的検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邊 隆文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-400604
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202111
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：
【要約】【課題】 軌道面を傷つけることなく迅速に軌道の曲率を検出することができる装置を提供する。【解決手段】 曲率半径rの軌道を有する内輪9の軌道底に光軸を合わせて当該軌道底から距離2rを隔てた位置に焦点距離fのゾーンプレート5を配置する。ゾーンプレート5に入射した平行光は、焦点Fに収束した後、球面波として発散し、軌道面9aに照射される。軌道の稜線Bに入射した光の反射光は入射光と同じ光路を逆戻りし、集光レンズ6により集光され、検出器7上で光の拡がりとして検出される。光の拡がりの寸法は、軌道曲率の誤差に応じて増減する。
請求項（抜粋）：
光源と、曲率半径rの軌道を有する被検査部材の軌道底に光軸を合わせて当該軌道底から距離2rを隔てた位置に配置され、入射した平行光を、焦点距離f=rとなる焦点に収束させた後、球面波として発散させるゾーンプレートと、前記光源から放射された光を平行化して前記ゾーンプレートに導くとともに、当該ゾーンプレートを通過して軌道に照射され且つ反射した後当該ゾーンプレートを通過して戻る光を導き且つ集光させる光学系と、前記光学系により集光させた光の拡がり量を検出する検出器とを備えたことを特徴とする軌道曲率の光学的検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 K
, G01B 11/24 M
2F065AA46
, 2F065AA52
, 2F065BB05
, 2F065CC00
, 2F065DD06
, 2F065FF10
, 2F065FF42
, 2F065GG06
, 2F065GG07
, 2F065GG12
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL30
, 2F065LL43
, 2F065LL46
, 2F065QQ28
, 2F065QQ51
