半導体単結晶引上装置のルツボ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：猪熊克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-038728
公開番号（公開出願番号）：特開平5-208890
出願日： 1992年01月28日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：

【要約】【目的】黒鉛ルツボ4をより多数回にわたって使用することができる半導体単結晶引上装置のルツボを提供する。【構成】石英ルツボ5を保持する半導体単結晶引上装置の黒鉛ルツボ4において、黒鉛ルツボ4の側壁に、該側壁の内外面を貫通する貫通孔4aを形成したことを特徴とし、また石英ルツボ5と、該石英ルツボ5を保持した黒鉛ルツボ4とを有する半導体単結晶引上装置のルツボにおいて、前記石英ルツボ5の上端面に小径側下面が当接するリング状の蓋9を更に設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

石英ルツボを保持する半導体単結晶引上装置の黒鉛ルツボにおいて、黒鉛ルツボの側壁に、該側壁の内外面を貫通する貫通孔を形成したことを特徴とする半導体単結晶引上装置の黒鉛ルツボ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-012085
特開平4-012085
特開昭55-113693

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