特許
J-GLOBAL ID：200903067282143324
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法及びその製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川口 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-329000
公開番号（公開出願番号）：特開平8-187586
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：
【要約】【目的】オリフィスプレートにカーボンを付着させずにまたレーザ光によって傷をつけないインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。【構成】オリフィスプレート(11)の同一面側で、エキシマレーザ光(22)の照射部位を挟んで両側から酸素ガスの吹き付け(30)と吸引除去(31)を行い、また、内部を空洞にし、表面に空洞に通ずる複数の通気孔を設けたた載物台(26)の上にオリフィスプレートをおき、前記空洞の内部を吸引することによりオリフィスプレートを載物台に固定するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
請求項（抜粋）：
インクを吐出するためのオリフィスが配設されたオリフィスプレートと、前記オリフィスからインクを吐出させるための素子を有したヘッド基板とを接合して得られるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、エキシマレーザ光を照射しながら酸素ガスを吹き付けることで前記オリフィスを形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B23K 26/00 330
, B23K 26/14
, B41J 2/135
