特許

J-GLOBAL ID：200903067289750099

レーザ超音波探傷装置

発明者： 林 一雄 ,  永田 泰昭
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095081
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281084
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 ノイズを容易に低減することができ、検出超音波信号のSN比の改善を図ることができるレーザ超音波探傷装置を提供する。【解決手段】 被検体に超音波を発生させる励起用のレーザ光を照射する超音波発生用レーザ装置11と、被検体A中で反射され表面に到達した反射超音波を検出するプローブ用のレーザ光を発生する超音波検出用レーザ装置21と、プローブ用のレーザ光を被検体の表面に照射された励起用のレーザ光の中心を中心とする円環状のレーザ光に変換する光学系23と、被検体の表面で反射されるプローブ用のレーザ光が反射超音波との相互作用によって受ける変化を検出する光検出装置とを備える。被検体表面に照射された励起用のレーザ光の真下にある欠陥部からの反射超音波信号は、強め合い増幅されて検出され、逆に、被検体中の微細構造に起因する散乱ノイズは、打ち消し合い弱められて検出される。

請求項（抜粋）：

被検体に超音波を発生させる励起用のレーザ光を照射する超音波発生用レーザ手段と、被検体中で反射され表面に到達した反射超音波を検出するプローブ用のレーザ光を発生する超音波検出用レーザ手段と、前記プローブ用のレーザ光を前記被検体に照射された前記励起用のレーザ光の中心を中心とする円環状のレーザ光に変換する光学手段と、前記被検体の表面で反射されるプローブ用のレーザ光が前記反射超音波との相互作用によって受ける変化を検出する光検出手段と、を具備することを特徴とするレーザ超音波探傷装置。