特許
J-GLOBAL ID：200903067291634578
分子線セル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-232085
公開番号（公開出願番号）：特開平9-059088
出願日： 1995年08月18日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：
【要約】【課題】 るつぼ係止固定構造の簡素化、るつぼ着脱の容易化を図ること。【解決手段】 るつぼ2は鍔部2aを有し、るつぼの周囲には円筒状の熱反射板4が設けられている。外側の熱反射板4’はるつぼの開口部位置より先端部が延出し、この先端部の周囲にはリング係止用凹部4a’が形成されている。この凹部にC型リング25を嵌合、係止させることにより、同リングはるつぼの鍔部を押え、るつぼを固定する。また、熱反射板にリング係止用凸部を形成し、この凸部と鍔部の間にC型リングを挾み、凸部で係止されたC型リングで、るつぼの鍔部を押え、るつぼを固定することができる。C型リングは耐熱性金属ワイヤーの加工、或いは金属板のプレス加工により形成する。
請求項（抜粋）：
開口部に鍔部を持つるつぼと、このるつぼの周囲に設けられた円筒状の熱反射板であって、前記るつぼの開口部位置より先端部が延出し、この先端部の周囲にリング係止用凹部又は凸部が形成されている熱反射板と、この熱反射板における前記リング係止用凹部又は凸部で係止されて、前記るつぼの鍔部を押えるC型リングとを備えてなることを特徴とする分子線セル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 23/08 M
, H01L 21/203 M
