特許
J-GLOBAL ID：200903067302025200
欠陥検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-235056
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082373
出願日： 1992年09月03日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 被検物の本来のパターンの密集度や形状等の条件によらずに欠陥のみを検出すると共に、検査時間を短くする。【構成】 被検物19を照明する光源24と、開口27を有する輪帯遮光板28と、受光レンズ30のフーリエ変換面の近傍に配置され開口31を有する遮光板32と、開口31を通過した光に比例する光を光電変換する受光器37と、開口31を通過した光による被検物19の共役像を撮像する撮像装置35とを有する。1番目の視野38-1では輪帯遮光板28の最適回転角を求め、2番目の視野38-2では必ずしも輪帯遮光板28を回転させない。
請求項（抜粋）：
被検物に検査用の光を照射する光照射手段と、前記被検物からの光を集光する集光光学系とを有し、該集光された光により前記被検物の欠陥を検査する方法において、前記被検物と前記光照射手段との相対位置を変化させる移動手段と、前記集光光学系による前記被検物のフーリエ変換面の近傍に配置され前記被検物からの光のフーリエ変換パターンの一部のみに対応する光を通過させる開口手段と、該開口手段を通過した光に比例する光を光電変換する光検出手段と、前記被検物からの光のフーリエ変換パターンと前記開口手段との相対位置を変化させる相対位置可変手段と、前記開口手段を通過した光を逆フーリエ変換して前記被検物の共役像を結像する変換光学系と、前記共役像を撮像する撮像手段とを備え、前記移動手段により前記被検物の第1の検出領域に前記光照射手段の光を照射し、前記相対位置可変手段により前記光検出手段の光電変換信号が最小になるように前記被検物からの光のフーリエ変換パターンと前記開口手段との相対位置を設定し、該設定された相対位置のもとで前記光検出手段の光電変換信号を記憶すると共に、前記撮像手段により前記被検物の共役像を観察し、次に、前記移動手段により前記被検物の第2の検出領域に前記光照射手段の光を照射した際に、前記光検出手段の光電変換信号が前記記憶した光電変換信号に対して所定の許容範囲内で等しい場合には、そのまま前記撮像手段により前記被検物の共役像を観察し、前記光検出手段の光電変換信号が前記記憶した光電変換信号と所定の許容範囲を超えて異なる場合には、前記相対位置可変手段により前記光検出手段の光電変換信号が最小になるように前記被検物からの光のフーリエ変換パターンと前記開口手段との相対位置を設定してから、前記撮像手段により前記被検物の共役像を観察する事を特徴とする欠陥検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, H01L 21/66
