特許

J-GLOBAL ID：200903067316336836

移動ステージの精密送り装置

発明者： 佐野 一彦 ,  吉田 英博
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 東島 隆治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-131287
公開番号（公開出願番号）：特開2001-310232
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月06日
要約：

【要約】【課題】送りむらが極めて小さな移動ステージの送り装置を提供する。【解決手段】電気粘性流体を入れた容器であって、かつ前記電気粘性流体を挟んで対向する固定された第1の電極及び第2の電極を有する容器と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧をかける電源部と、少なくとも一部が前記電気粘性流体の中に存在する移動プレートであって、前記第1の電極と前記第2の電極との間を僅かな距離を隔てて移動可能に配置された絶縁体よりなる移動プレートを、少なくとも1つ有する移動ステージと、前記移動ステージを前記第1の電極及び前記第2の電極に実質的に平行に移動させる駆動部と、を具備する送り装置である。

請求項（抜粋）：

電気粘性流体を入れた容器であって、かつ前記電気粘性流体を挟んで対向する固定された第1の電極及び第2の電極を有する容器と、前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧をかける電源部と、少なくとも一部が前記電気粘性流体の中に存在する移動プレートであって、前記第1の電極と前記第2の電極との間を僅かな距離を隔てて移動可能に配置された絶縁体よりなる移動プレートを、少なくとも1つ有する移動ステージと、前記移動ステージを前記第1の電極及び前記第2の電極に実質的に平行に移動させる駆動部と、を具備する送り装置。

IPC (5件)：

B23Q 5/28 ,  B65G 54/02 ,  G03F 7/20 501 ,  G11B 7/26 501 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

B23Q 5/28 C ,  B65G 54/02 ,  G03F 7/20 501 ,  G11B 7/26 501 ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (12件)：

2H097AB07 ,  2H097BA10 ,  2H097LA20 ,  3F021AA03 ,  3F021BA02 ,  3F021CA06 ,  3F021DA03 ,  3F021DA04 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38 ,  5F046CC01 ,  5F046CC19