特許

J-GLOBAL ID：200903067316987225

半導体チップ選別装置

発明者： 宇佐美 純
出願人/特許権者： 星和電機株式会社
代理人 (1件)： 大西 孝治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-075236
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232186
出願日： 1992年02月25日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】 半導体チップTに対する位置合わせ機構を簡単にする。単一のコレット2で再整列場所まで半導体チップTを搬送する。【構成】 コレット2の下端部に、上側電極を兼ねる吸着ノズル7を設ける。吸着ノズル7で半導体チップTを吸着してウエハシート3から再整列シート4に向かう。コレット2の移動路下方に、下側電極5を配する。コレット2の移動に同期して下側電極5を移動させる。下側電極5の移動中に下側電極5を上昇させて半導体チップTに接触させる。半導体チップTの搬送途中にその特性を測定して、半導体チップTの載せ替えを不要にする。

請求項（抜粋）：

整列された多数の半導体チップの特性を順番に測定して特性別に半導体チップを配列し直す半導体チップ選別装置であって、選別すべき半導体チップを下端部に吸着し、吸着した半導体チップを再整列場所に搬送するべく横行すると共に、半導体チップを吸着する下端部を、半導体チップの特性測定用の上側電極としたコレットと、該コレットの横行路の途中にあり、コレットにより搬送される半導体チップと共に移動して半導体チップに下側から接触し、その接触中に前記上側電極と共同して半導体チップの特性を測定する可動式の下側電極とを具備することを特徴とする半導体チップ選別装置。