特許

J-GLOBAL ID：200903067318272681

液量測定装置

発明者： 佐々木 彰 ,  当麻 信明
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-165418
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010803
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 液量測定装置において、構造の簡易化を図り、スペースを減少させ、液量測定の信頼性を向上させ、薬液の液量管理の容易化およびスループットの向上を図る。【構成】 液量測定装置において、処理槽9内に配置され、窒素ガスを噴出させるノズル口5を有するノズル4と、このノズル4側に流動する窒素ガスの流量または圧力を検出し、この検出した流量または圧力に基づき処理槽9内の薬液の液量を測定するマスフロメータ3とを備え、前記ノズル口5は、検出レベルに対応した位置にそれぞれ形成され、上方に行くにしたがってオリフィス面積が漸次減少する構造とした。

請求項（抜粋）：

処理槽内に配置され、不活性ガスを噴出させるノズル口を有するノズルと、このノズル側に流動する不活性ガスの流量または圧力を検出し、この検出した流量または圧力に基づき処理槽内の薬液の液量を測定する液量測定部とを備えたことを特徴とする液量測定装置。