特許

J-GLOBAL ID：200903067325958335

ポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者： 藤井 悟 ,  柳原 欣尚 ,  細見 哲也 ,  北野 慶
出願人/特許権者： ナガセケムテックス株式会社
代理人 (1件)： 南條 博道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-215734
公開番号（公開出願番号）：特開2003-029397
出願日： 2001年07月16日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】 感度、現像性に優れ、残膜率に優れるとともに、耐熱性、耐薬品性、基板との密着性、可視光領域における透明性に優れたポジ型レジスト膜を形成しうるような感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 アルカリ可溶性不飽和樹脂、キノンジアジド化合物、および該アルカリ可溶性不飽和樹脂間に架橋を形成し得る官能基を有する架橋剤を含有する、ポジ型感放射線性樹脂組成物。この組成物に用いられるアルカリ可溶性不飽和樹脂は、下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物;【化1】(式中、それぞれのRは、独立して水素原子、炭素数1〜5の直鎖または分岐アルキル基、フェニル基、またはハロゲン原子を示す。)と(メタ)アクリル酸との反応物と、少なくとも1つの多塩基性カルボン酸またはその無水物とを反応させて得られる樹脂である。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性不飽和樹脂、キノンジアジド化合物、および該アルカリ可溶性不飽和樹脂間に架橋を形成し得る官能基を有する架橋剤を含有する、ポジ型感放射線性樹脂組成物:ここで、該アルカリ可溶性不飽和樹脂が、下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物;【化1】(式中、それぞれのRは、独立して水素原子、炭素数1〜5の直鎖または分岐アルキル基、フェニル基、またはハロゲン原子を示す。)と(メタ)アクリル酸との反応物と、少なくとも1つの多塩基性カルボン酸またはその無水物とを反応させて得られる樹脂である、ポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 501 ,  C08G 59/14 ,  G03F 7/027 515 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/004 501 ,  C08G 59/14 ,  G03F 7/027 515 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (20件)：

2H025AA01 ,  2H025AA06 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC13 ,  2H025BC74 ,  2H025BC85 ,  2H025BC86 ,  2H025BE01 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CC17 ,  4J036AD11 ,  4J036AD12 ,  4J036CA19 ,  4J036CA21 ,  4J036JA09