特許
J-GLOBAL ID:200903067333599786

熱線遮断膜

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 泉名 謙治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-266689
公開番号(公開出願番号):特開平5-229052
出願日: 1992年09月09日
公開日(公表日): 1993年09月07日
要約:
【要約】【目的】耐湿性に優れた熱線遮断膜を提供する。【構成】基体1上に酸化物膜2、金属膜3、酸化物膜2、と交互に積層された(2n+1)層(n≧1)の熱線遮断膜において、基体からみて最も離れた酸化物膜4(B)を、Si、B、Ti、Mg、Cr、Sn、Gaのうち少なくとも1種をZnとの総量に対し、1〜10原子%、好ましくは2〜6原子%、ドープした酸化亜鉛膜を少なくとも1層含む膜とする。
請求項(抜粋):
基体上に酸化物膜、金属膜、酸化物膜、と交互に積層された(2n+1)層(n≧1)からなる熱線遮断膜において、基体から見て、基体から最も離れた金属膜(A)の反対側に形成された酸化物膜(B)は、Si、Ti、Cr、B、Mg、Sn、Gaのうち少なくとも1種をZnとの総量に対し、1〜10原子%ドープした酸化亜鉛膜を少なくとも1層含むことを特徴とする熱線遮断膜。
IPC (3件):
B32B 9/04 ,  B32B 7/02 ,  B32B 15/04
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 特開昭63-239043
  • 特開昭63-239044
  • 特開昭55-016554
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