特許
J-GLOBAL ID：200903067346193363
画像表示装置の製造法及び製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-298028
公開番号（公開出願番号）：特開2001-338578
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：
【要約】【課題】 画像表示装置の製造における真空排気時間の短縮及び高真空度化を容易に行えるようにし、もって製造効率を向上させる。【解決手段】 画像表示装置のパネルを構成するパネル部材101、102を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながらパネル部材に複数の処理を施した後、パネル部材を封着するに際し、パネル部材をベーク処理するベーク処理室106と、ベーク処理後にパネル部材が搬送され、パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室109とを有し、このゲッタ処理は、ゲッタ処理室109におけるパネル部材の温度を、ベーク処理室106においてベーク処理されるパネル部材の温度よりも低い温度に設定する。
請求項（抜粋）：
画像表示装置のパネルを構成するパネル部材を、それぞれ温度制御手段を備える減圧された複数の処理室に順次搬送し、温度制御しながら前記パネル部材に複数の処理を施した後、前記パネル部材を封着してパネルを形成する画像表示装置の製造方法であって、前記複数の処理室は、前記パネル部材をベーク処理するベーク処理室と、前記ベーク処理後に前記パネル部材が搬送され、前記パネル部材にゲッタ処理がなされるゲッタ処理室とを有し、前記ゲッタ処理は、前記ゲッタ処理室におけるパネル部材の温度を、前記ベーク処理室においてベーク処理されるパネル部材の温度よりも低い温度に設定して行われることを特徴とする画像表示装置の製造方法。
IPC (5件)：
H01J 9/38
, H01J 9/26
, H01J 9/39
, H01J 9/40
, H01J 9/46
H01J 9/38 A
, H01J 9/26 A
, H01J 9/39 A
, H01J 9/40 A
, H01J 9/46 A
5C012AA05
, 5C012BC03
, 5C012BD01
, 5C012BD02
, 5C012BD04
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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