特許
J-GLOBAL ID：200903067350000880
光ファイバプローブ、その製造方法及び薄膜形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-262923
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083872
出願日： 1997年09月11日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 光ファイバプローブや光集積回路等が形成されるガラス基材上に平滑な金属薄膜を形成し、特定波長の励起光によって共鳴的に表面プラズモンが励起されるようにする。【解決手段】 光ファイバプローブやガラス基材上にゲルマニウム膜5を成膜した後、この上に金または銀よりなる金属薄膜6を成膜する。成膜法としては、蒸着法等が用いられる。
請求項（抜粋）：
コアの周りにクラッドが設けられてなる光ファイバの一端に、先細り状の先鋭部が形成され、上記先鋭部に、ゲルマニウム膜が形成され、この上に金または銀よりなる金属薄膜が形成されていることを特徴とする光ファイバプローブ。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G02B 6/10
, C03C 25/02
, C03C 25/04
G01N 37/00 E
, G02B 6/10 D
, C03C 25/02 Z
, C03C 25/04 A
