特許

J-GLOBAL ID：200903067350838379

スパッタリングタ-ゲット用バッキングプレ-ト及びスパッタリングタ-ゲット/バッキングプレ-ト組立体

発明者： 福世 秀秋 ,  岡部 岳夫
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンエナジー
代理人 (1件)： 藤吉 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-153100
公開番号（公開出願番号）：特開平10-330929
出願日： 1997年05月28日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：

【要約】【目的】 ハイパワースパッタリングなどの高温環境においても変形が少なく、軽量でかつ熱伝導率にも優れたバッキングプレート材料を提供する。【構成】 0.2%耐力が200MPa以上を有するAl合金からなることを特徴とするスパッタリングターゲット用バッキングプレート及び該バッキングプレートとスパッタリングターゲットとを接合させてなる組立体。好ましくは、Cuを0.1〜7mass%含有し、Si,Fe,Cu,Mn,Mg,Zn,Cr,V,Zr,Ti から選択される成分の合計含有量が1mass%以上10mass%未満、Al以外の元素の合計含有量10mass%未満、残部AlであるAl合金をバッキングプレートとして用いる。

請求項（抜粋）：

0.2%耐力が200MPa以上を有するAl合金からなることを特徴とするスパッタリングターゲット用バッキングプレート。