特許
J-GLOBAL ID：200903067362060810
走査形電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-276442
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130321
出願日： 1993年11月05日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】画面が見易く、かつ視野選択や焦点合わせなどにおける操作性のよい電子顕微鏡を提供すること。【構成】広い視野と狭い視野の画像を同時に表示する異種倍率像同時表示機能を備えた電子顕微鏡において、広い視野の像は視野移動か倍率切替えで視野が変わるときのみ走査領域を走査し画像メモリに画像を取り込んで画像データを更新し出力表示して、それ以外のときは画像メモリに取り込んだ画像データを記憶保持して固定画像を表示し、狭い視野の画像は、上記広い視野の画像を取り込むとき以外、常時走査を行い表示する手段を持たせる。【効果】広い視野と狭い視野の走査領域を交互に走査する必要がなくなるため、走査画面が切替わるまでの時間待ちや画面のちらつき、断続的な画像の更新による画面の見ずらさが解消できて、操作性を向上する。
請求項（抜粋）：
試料上に電子線を二次元的に走査するために電子線通路に設けた偏向系と、前記走査領域の中の任意の場所をさらに拡大するため該偏向系に流す電流を複数段に可変すると共に走査領域の位置を可変する機能と、前記拡大位置を選択するための画像を表示するため試料から発生する二次電子等の像信号を半導体メモリ等で構成される記憶部に記憶すると同時に像信号を表示信号として出力することが可能な画像メモリと、前記視野選択するための像と任意の場所の拡大像とを同時に表示するための複数の表示領域もしくは表示部と、試料に照射される電子線の位置を移動するため試料を直接移動する試料移動機能かまたは該二次元偏向系とは別に設けた偏向系の一方または両方とそれらを制御する機能とを備えた電子顕微鏡において、試料移動機能等の視野移動機能が動作した時または倍率が変化する等により試料上の走査領域の位置または大きさが変化したとき、自動的に画像メモリに1画面を構成する期間だけ前記視野選択のための画像の走査領域を走査し、同時に像信号を取り込み記憶データを更新し、上記以外のときは記憶した前画像データを保持した固定画像を表示するように画像メモリと二次元偏向系とを制御したことを特徴とする走査形電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/22 502
, H01J 37/22
