特許
J-GLOBAL ID：200903067363631951
光学素子製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-265163
公開番号（公開出願番号）：特開2002-068755
出願日： 2000年09月01日
公開日（公表日）： 2002年03月08日
要約：
【要約】【課題】 マイクロレンズなどの所望形状の光学素子をゾル-ゲル法により容易に作製する。【解決手段】ポリシランから成る有機ケイ素樹脂被膜2をガラス基板3上に形成し、その被膜2に対し、製造しようとするマイクロレンズのレンズ領域に開口をもつパターンを形成したマスクを通して紫外光を照射する。その後、ガラス基板3をゲル状シリカ1に浸漬すると、被膜2の照射領域4にゲル状シリカ1が選択的に半球面上に盛り上がって付着する。その後、ゲル状シリカ1を加熱して固化させ、ゲルが付着していない部分の有機ケイ素樹脂被膜2を有機溶媒で除去した後、300〜500°Cでさらに加熱してゲルから吸着水、水和物、結合水を離脱させて透明レンズとする。
請求項（抜粋）：
以下の工程(A)から(D)を含んでガラス基板上に凸レンズを形成する光学素子製造方法。(A)ガラス基板上に有機ケイ素樹脂を主成分とする被膜を形成する工程、(B)前記被膜のうち、凸レンズを形成する領域に選択的に放射線を照射する露光工程、(C)凸レンズを形成するガラス成分組成に調製された液状ゲルを前記被膜に接触させることにより、その被膜のうち前記露光工程で放射線照射された領域にその液状ゲルを選択的に付着させる工程、(D)その後、付着した液状ゲルを乾燥させてドライゲルとした後、熱処理によりガラス化させる工程。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C03B 8/02 K
, G02B 3/00 A
