電解活性水の生成方法および生成装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-056111
公開番号（公開出願番号）：特開平7-256261
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：

【要約】【目的】電解活性水の半導体プロセスへの適用を実現するため、水に添加する支持電解質の量によらずに電気分解を効率的に行なう方法および装置を提供する。【構成】一旦電気分解処理を行った水は、ある程度の時間、抵抗の低い状態が維持される。この特性を利用し、電気分解初期に電気分解の起こりやすい水を電解槽に供給することで電気分解を効率化する。具体的方法としては、1)少なくとも電気分解処理に、予め電気分解行を行った水を加える。2)電気分解初期に、微量の支持電解質を加えて電気分解をはじめる。3)電解槽で電気分解を行った水の一部を電解槽に戻す(陽極水は陽極側、陰極水は陰極側)。4)電解槽を、実質的に予備電解部と最終的な電解部に分ける。などを用い、単位時間に得られる電解活性水の生成量を増加させる。

請求項（抜粋）：

水を電気分解する方法において、少なくとも電気分解の初期に、該電気分解すべき水に、それ以前に電気分解を行い活性化した水を加えることを特徴とする電解活性水の生成方法。

IPC (3件)：

C02F 1/46 , H01L 21/304 341 , H01L 21/306

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭59-066392
特開平1-317591
特開昭64-056188

全件表示

前のページに戻る