欠陥修正装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-043441
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236933
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】修正液塗布用の針の付着物を容易かつ十分に除去できる欠陥修正装置を提供する。【解決手段】切欠部12を有する回転テーブル10上にインクタンク13〜16、攪拌方式の簡易洗浄装置17およびエアーパージ装置18を順次配置する。アクチュエータ2およびインデックス用モータ21によって、針1にインク75を付着させ、カラーフィルタ70の欠陥部73に針1を接触させてインク75を塗布する。欠陥修正後、針1を洗浄装置17で洗浄し、エアーパージ装置18で針1の付着物を除去する。洗浄液30が汚れてきても、洗浄液30が乾燥して針1に汚れが残ることがない。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されたパターンの欠陥部を修正するための欠陥修正装置であって、前記欠陥部を修正するための修正液を貯える修正液容器、先端に設けられている針に前記修正液容器内の修正液を付着させて前記基板上の欠陥部に塗布する針駆動手段、および前記針駆動手段の針に空気を吹きつけて該針の付着物を除去する空気噴出手段を備える、欠陥修正装置。

IPC (5件)：

G03F 7/40 511 , G02B 5/20 101 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1335 505 , G09F 9/00 338

FI (5件)：

G03F 7/40 511 , G02B 5/20 101 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1335 505 , G09F 9/00 338

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