特許

J-GLOBAL ID：200903067368544542

インクジェット記録ヘッド用基板、インクジェット記録ヘッド、および該ヘッド用基板の作成方法

発明者： 小室 博和
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-198381
公開番号（公開出願番号）：特開2002-011886
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月15日
要約：

【要約】【課題】 発熱抵抗層とこの上層に形成した一対の電極とを保護する上部保護膜のステップカバレージを良好にするとともに、保護膜の薄膜化を図る。【解決手段】 インクジェット記録ヘッド用基体では電極4の熱作用部8側のエッジ部が、発熱抵抗層3の表面に略垂直な垂直面4aと、この垂直面4aから電極上面4cに連続する傾斜部4bとで形成されている。そして発熱抵抗層3及び電極4上に保護層5が形成されている。

請求項（抜粋）：

発熱抵抗層と、該発熱抵抗層上に離間して形成された少なくとも一対の電極と、前記発熱抵抗層及び前記電極を覆う保護膜とを有するインクジェット記録ヘッド用基板において、前記電極のエッジ部が、前記発熱抵抗層の表面に対して略垂直な面と、該垂直面から前記電極の上面に連続する傾斜部とで形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド用基板。

IPC (2件)：

B41J 2/05 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 B ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (23件)：

2C057AF02 ,  2C057AF54 ,  2C057AF66 ,  2C057AF93 ,  2C057AG05 ,  2C057AG12 ,  2C057AG32 ,  2C057AG39 ,  2C057AG46 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP32 ,  2C057AP33 ,  2C057AP52 ,  2C057AP53 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057AQ01 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA13