特許
J-GLOBAL ID：200903067369109718
静電チャック
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-089198
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275708
出願日： 1993年03月24日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 サセプタと抵抗体層の熱膨張又は熱収縮の変化によるサセプタと絶縁膜又は抵抗体層と絶縁膜のそれぞれの接着部の剥離を抑制することができる静電チャックを提供する。【構成】 サセプタ10の載置面に被吸着体2を静電気力で吸着保持するための静電チャック9において、前記被吸着体2を吸着載置する載置面としての抵抗体層31と、この抵抗体層31と前記サセプタ10との間に配設された絶縁膜20とを備え、この絶縁膜20と前記抵抗体層31の接着部21と、前記絶縁膜20と前記サセプタ10の接着部22とは非対称に構成したものである。
請求項（抜粋）：
サセプタの載置面に被吸着体を静電気力で吸着保持するための静電チャックにおいて、前記被吸着体を吸着載置する載置面としての抵抗体層と、この抵抗体層と前記サセプタとの間に配設された絶縁膜とを備え、この絶縁膜と前記抵抗体層の接着部と、前記絶縁膜と前記サセプタの接着部とは非対称に構成したことを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H02N 13/00
, B23Q 3/15
