特許
J-GLOBAL ID：200903067369791357
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-158817
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006842
出願日： 1997年06月16日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】本発明は、静電容量の変化により加速度を検出する加速度センサに関し、コストの低減化を図る。【解決手段】機械的な構成部分をモジュール化し、そのモジュールを一体的に取り扱うようにした。
請求項（抜粋）：
互いに対向する2枚の電極基板と、該2枚の電極基板の、互いに対向する表面に広がる2枚の固定電極と、該2枚の電極基板の、互いに対向する表面の、互いに対応する位置に接する2つのスペーサと、該2つのスペーサに挟まれて前記2枚の電極基板どうしの間隙内に広がる、これら2枚の電極基板を貫く方向の加速度に応じてこれら2枚の電極基板のうちのいずれか一方に接近する可動電極板と、前記2枚の電極基板の裏面に接する2つの係止部を有しこれら2つの係止部間に前記2枚の電極基板を挟持する固定具とを具えたセンサモジュール、および前記センサモジュールが一体的に搭載されるとともに、搭載されたセンサモジュールを構成する2枚の固定電極それぞれと可動電極板との間の静電容量の変化に基づいて前記方向の加速度を検出する加速度検出回路が構成されてなる回路基板を備えたことを特徴とする加速度センサ。
引用特許：
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