特許

J-GLOBAL ID：200903067372124680

固相反応試料の透過電子顕微鏡観察用試料作製方法および荷電粒子ビーム装置

発明者： 杉山 昌章
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-124389
公開番号（公開出願番号）：特開2001-305028
出願日： 2000年04月25日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：

【要約】【課題】 固相反応試料の透過電子顕微鏡観察用試料作製方法および荷電粒子ビーム装置を提供する。【解決手段】 本発明の透過電子顕微鏡観察用試料作成方法は、固相反応に関わる試料の透過電子顕微鏡観察用試料を集束荷電粒子ビーム加工するにあたり、荷電粒子ビーム照射を伴う反応ガスの放出により試料の観察部位に小型熱電対を固定し、試料を加熱しつつ該観察部位の温度と荷電粒子像を観察し、所望の温度もしくは反応状況になったときに冷却ガスを吹き付けて高温状態を凍結した後に、観察部位を集束荷電粒子ビーム加工により摘出することを特徴とする。また、本発明の荷電粒子ビーム装置は、加熱手段と小型熱電対とを有する試料ステージ、該小型熱電対を移動させるためのマニピュレータ、該小型熱電対を試料に固定するための反応ガス源および急冷のための冷却ガス源を備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

固相反応に関わる試料の透過電子顕微鏡観察用試料を集束荷電粒子ビーム加工する透過型電子顕微鏡観察用試料の作成方法であって、荷電粒子ビーム照射を伴う反応ガスの放出により試料の観察部位に小型熱電対を固定し、試料を加熱しつつ該観察部位の温度と荷電粒子像を観察し、所望の温度もしくは反応状況になったときに冷却ガスを吹き付けて該観察部位の高温状態を凍結した後に、該観察部位を集束荷電粒子ビーム加工により摘出することを特徴とする透過電子顕微鏡観察用試料作製方法。

IPC (7件)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/317 ,  G01N 23/04 ,  G01N 33/20

FI (8件)：

G01N 1/32 B ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 Z ,  H01J 37/317 D ,  G01N 23/04 ,  G01N 33/20 Q ,  G01N 1/28 K ,  G01N 1/28 G

Fターム (26件)：

2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001GA06 ,  2G001GA17 ,  2G001HA13 ,  2G001KA09 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G001PA14 ,  2G001RA02 ,  2G001RA03 ,  2G001RA04 ,  2G001RA20 ,  2G055AA07 ,  2G055BA04 ,  2G055CA18 ,  2G055FA10 ,  5C001BB01 ,  5C001BB02 ,  5C001CC07 ,  5C034DD09