オリフイスプレートの製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-187862
公開番号（公開出願番号）：特開平5-033183
出願日： 1991年07月26日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：

【要約】【目的】高品質で低コストなオリフィスプレートを多量に製造する。【構成】本発明のオリフィスプレートの電鋳用原盤は、非導電性基板上に導電性物質によるパターンが形成された構造を持ち、機械的強度に優れ、基板とパターンとの密着性も良いため、電鋳膜作成後、原盤との剥離時に原盤パターンの損傷を起こさず重複使用に耐える。また化学的安定にも優れ、原盤汚染時には、効果的に洗浄可能である。

請求項（抜粋）：