特許

J-GLOBAL ID：200903067383711170

Feを含む磁性ガーネット単結晶膜の製造方法

発明者： 藤 井 高 志 ,  脇 野 喜 久 男
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020389
公開番号（公開出願番号）：特開平9-188595
出願日： 1996年01月10日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】 Feを含む磁性ガーネット単結晶膜の製造時間が短く、材料の使用効率がよく、鉛を使用しない、Feを含む磁性ガーネット単結晶膜の製造方法を提供する。【解決手段】 YIGの化学量論組成となる多結晶膜34がGGG単結晶基板30上に形成された積層体36は、単結晶膜製造装置10の容器12内の試料台16に載置される。積層体36は、ハロゲンランプ18によって、YIGの分解温度より低い約1450°Cに加熱される。YAGレーザー光が、照射装置20から照射され、反射ミラー22で反射され、光学窓14を通して多結晶膜34に照射される。反射ミラー22の反射角度を操作することによって、YAGレーザー光を多結晶膜34全面に走査して、多結晶膜34全体を溶融し凝固することによって、多結晶膜34が単結晶膜化される。

請求項（抜粋）：

Feを含む磁性ガーネット単結晶膜の製造方法において、前記磁性ガーネット単結晶膜の化学量論組成となる多結晶膜をガーネット構造を有する単結晶基板上に形成した後、前記多結晶膜にレーザー光を照射して前記多結晶膜を溶融し凝固することによって、前記磁性ガーネット単結晶膜を製造することを特徴とする、Feを含む磁性ガーネット単結晶膜の製造方法。

IPC (2件)：

C30B 29/28 ,  G02F 1/09 501

FI (2件)：

C30B 29/28 ,  G02F 1/09 501