特許
J-GLOBAL ID：200903067383755134
レーザ顕微鏡及び共焦点型レーザ走査顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-288979
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108908
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 試料に照射する深紫外レーザ光の強度を制限して試料の損傷を抑えるレーザ顕微鏡及び共焦点型レーザ走査顕微鏡を提供することである。【解決手段】 深紫外レーザ光8を出射するレーザ光発信装置1と、深紫外レーザ光8の強度を制限する減光フィルタ切り換えユニット11を有する顕微鏡本体4とを備えているレーザ顕微鏡において、深紫外レーザ光8の強度に対する試料10の損傷の度合に係るマップを格納するメモリ7aを設け、外部から試料損傷制限値が入力されたとき、マップに基づき減光フィルタ切り換えユニット11を切り換えてレーザ光の強度を調整するようにした。
請求項（抜粋）：
深紫外レーザ光を出射する光源と、前記深紫外レーザ光の強度を制限する制限手段を有する顕微鏡本体とを備えているレーザ顕微鏡において、前記深紫外レーザ光の強度に対する試料の損傷の度合に係るマップを格納する記憶手段と、外部から試料損傷制限値が入力されたとき、前記マップに基づき前記制限手段を制御する制御手段とを備えていることを特徴とするレーザ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2H052AA07
, 2H052AA08
, 2H052AC12
, 2H052AC15
, 2H052AC26
, 2H052AC28
, 2H052AC34
