特許
J-GLOBAL ID:200903067384094042

プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 土井 育郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-124831
公開番号(公開出願番号):特開平6-314542
出願日: 1993年04月30日
公開日(公表日): 1994年11月08日
要約:
【要約】【目的】 サブトラクティブ加工時にサブトラクティブ用マスク層の剥離を起こすことなく所望パターンの障壁を形成する。【構成】 サブトラクティブ用マスク層3における両端部分の幅を広くする。サブトラクティブ加工時にマスク層3の両端部分の下側に位置するガラスペースト2の研削が進んでも、マスク層3の両端部分は広い領域でガラスペースト2に密着しているので剥離を起こさない。マスク層3全体がガラスペースト2に密着した状態を維持してサブトラクティブ加工が行われ、良好なパターンの障壁2aが形成できる。
請求項(抜粋):
ガラス基板上に障壁用のガラスペーストを所定の厚さで塗布して乾燥させ、その上にライン状のサブトラクティブ用マスク層を形成した後、該サブトラクティブ用マスク層を介してのサブトラクティブ加工によりライン状の障壁を形成するプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法において、前記サブトラクティブ用マスク層における両端部分の幅を広くすることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法。

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