特許
J-GLOBAL ID：200903067384304152
荷電結合された装置のアレーを機械的に振動させる装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-348565
公開番号（公開出願番号）：特開平5-316436
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 低解像度のCCDアレー上で高解像度の像を捕獲する目的のため、二つの平行面を制御して相対的に変位する装置を提供すること。【構成】 単一な軸線、又は二つの直交軸線に沿った二つの平行面を制御して相対的に変位する装置が開示される。直交軸線、又はその他の軸であるかどうかを問わず、任意の軸線に沿った変位の制御は、適正に方向決めした単一軸線の装置を積み重ねることにより、実現される。該装置は、協働して作用し、二つの剛性で平行なフレーム(2、7)を相対的に変位させる力発生手段(16、17)と、接続ビーム(4、5、13、14)とを備えている。像形成手段(15)が一つの剛性なフレームの上に取り付けられ、感光マトリックス(3、11)がそのフレームに取り付けられ、電子-光学検出装置を提供し、この装置において、像の場は閉じた軌道に沿って周期的に変位され、感光マトリックスの検出器要素の間の隙間を被う。
請求項（抜粋）：
電子-光学検出装置内で二つの平行面を制御して相対的に変位する装置にして、(a)対向する平行面を有する第1及び第2の剛性なフレーム(2、7)であって、前記第1の剛性なフレームの前記平行面が像供給源(15)の一方及び感光マトリックス(3、11)を保持し、前記第2の剛性なフレームの前記対向する平行面が前記像供給源の他方及び前記感光マトリックスを保持する第1及び第2の剛性フレームと、(b)前記第1及び第2の剛性なフレームを接続する平行な複数の接続ビーム(4、5、13、14)であって、前記ビームの端部が前記フレームに固定状態に取り付けられ、前記ビームが、該ビーム及び前記フレームを含む装置の固有振動数が200cps以上となるような剛性を備える接続ビームと、(c)前記第1の剛性なフレームに固定状態に取り付けられた第1の端部及び第2端部を有する前記接続ビームに略平行な1又は2つの力伝達ビーム(1、18)であって、前記力伝達ビームが、前記接続ビームの剛性の合計値よりも小さい剛性を備える力伝達ビームと、(d)前記力伝達ビームの前記第2の端部に十分な力を付与し、前記第2の端部を休止位置から変位させる変位手段(16、17)であって、前記第2の剛性なフレームに固定状態に取り付けられ且つ前記力伝達ビームの前記第2の端部に係合し、前記力伝達ビーム及び前記接続ビームの偏向に対する抵抗力が協働して作用し、前記第1及び第2の剛性フレームを単一の軸線に略沿って相対的に変位させる変位手段と、を備える装置。
IPC (4件)：
H04N 5/335
, G05D 3/00
, G05D 19/02
, H01L 21/339
