特許

J-GLOBAL ID：200903067390571812

圧電体素子およびその製造方法ならびにそれを用いたインクジェット式プリンタヘッド

発明者： 福井 俊巳
出願人/特許権者： 株式会社関西新技術研究所
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-348041
公開番号（公開出願番号）：特開2001-210888
出願日： 2000年11月15日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】 常に一定の優れた圧電特性を有し、製造プロセスの制御も比較的容易である素子を提供する。【手段】 圧電体膜7の両面側にそれぞれ電極6、8が配設された圧電体素子において、圧電体膜の、電極と接触する面に、化学式ABO3で示される複合酸化物またはそれぞれ化学式ABO3で示される2種類以上の複合酸化物の固溶体で形成された、Pbの含有量が0もしくは15重量%以下である酸化物層7aを具備させた。

請求項（抜粋）：

圧電体膜の両面側にそれぞれ電極が配設された圧電体素子において、前記圧電体膜の、少なくとも一方の電極と接触する面側に、化学式ABO3で示される複合酸化物またはそれぞれ化学式ABO3で示される2種類以上の複合酸化物の固溶体で形成された、Pbの含有量が0もしくは15重量%以下である酸化物層を具備したことを特徴とする圧電体素子。

IPC (7件)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (8件)：

C04B 35/49 M ,  H01L 41/08 C ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/18 101 F ,  H01L 41/22 Z