特許
J-GLOBAL ID：200903067395029269
静電容量式圧力センサユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西浦 ▲嗣▼晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-283761
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111434
出願日： 1998年10月06日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】 外部からのノイズの影響を少なくしてセンサ素子の出力を安定させることができる静電容量式圧力センサユニットを得る。【解決手段】 静電容量式圧力センサ素子11の圧力感知面31aの主要部を導電性シールド層43によって覆う。導電性シールド層43は接続パターン45を介して回路パターンに含まれるアースパターン41に電気的に接続する。導電性シールド層43及び接続パターン45をガラスコート47及び電気絶縁材料層49によりそれぞれ覆い、導電性シールド層43と金属製のケースとの間を電気的に絶縁する。
請求項（抜粋）：
電気絶縁性を有する材料により形成され、圧力を感知する圧力感知面とは反対側の面上に第1の電極パターンを備えたダイアフラムと、電気絶縁性を有する材料により形成され、前記ダイアフラムと対向する対向面上に前記第1の電極パターンと間隙を介して対向する第2の電極パターンを備えたベースとを具備してなる静電容量式圧力センサ素子と、少なくとも前記静電容量式圧力センサ素子を収容するセンサ素子収容室及び前記センサ素子収容室内に収容された前記静電容量式圧力センサ素子の前記圧力感知面に測定の対象となる圧力被測定流体の圧力を作用させるように前記センサ素子収容室内に前記圧力被測定流体を導入する流体導入通路を備えている金属製のケースと、電気絶縁性を有する材料により形成され、前記静電容量式圧力センサ素子の前記ベースの前記対向面とは反対側に位置する反対面との間に信号処理回路を構成する素子を収納する内部空間を形成するように前記ベースの前記反対面上に直接または間接的に載置されたコネクタ本体及び前記コネクタ本体に保持されて一端が前記内部空間内に露出し他端が外部に露出する複数本の端子導体を備えてなるコネクタとを具備し、前記コネクタは前記ケースに対して固定され、前記静電容量式圧力センサ素子の前記第1及び第2の電極パターン及び前記複数の端子導体が前記信号処理回路に電気的に接続されている静電容量式圧力センサユニットであって、前記静電容量式圧力センサ素子の少なくとも前記圧力感知面の全部または主要部が導電性シールド層によって覆われており、前記導電性シールド層と前記金属製のケースとの間は電気的に絶縁されており、しかも前記導電性シールド層は前記複数の端子導体に含まれるアース端子導体に電気的に接続されていることを特徴とする静電容量式圧力センサユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD09
, 2F055EE25
, 2F055FF11
, 2F055FF38
, 2F055GG11
, 2F055GG12
, 2F055GG25
, 2F055HH05
, 2F055HH11
