特許
J-GLOBAL ID：200903067412229064
電子源
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中沢 謹之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-089896
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243800
出願日： 1996年03月06日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 電子線照射幅に渡って電子線照射量の均一化を図り、また、線状フィラメント全体としての電子の引き出し効率を高め、線状フィラメントを長寿命化することのできる電子源を提供すること。【解決手段】 熱電子を発生させるための線状フィラメント2をx-y平面上のy方向に、つまり電子線の照射幅方向に一定の間隔を設けて複数配列し、複数列に配列された線状フィラメント2の配列間に線状フィラメント2と並行して棒状の電子引き出し電極21を配置し、この電子引き出し電極21に線状フィラメント電位に印加される負の電位に対して正の電位を印加して、線状フィラメント2の全方位の電界強度を均一化して、電子線の照射幅方向に照射分布の均一化を図る。
請求項（抜粋）：
平面上に所定の間隔で複数配列された線状フィラメントを有する電子源において、前記線状フィラメントの配列間に、前記線状フィラメントと並行して棒状の電子引き出し電極を配置したことを特徴とする電子源。
IPC (3件)：
G21K 5/04
, G21K 1/00
, H01J 37/063
G21K 5/04 E
, G21K 1/00 E
, H01J 37/063
