特許
J-GLOBAL ID：200903067421547974
プローブ装置及び同装置におけるアライメント方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-204839
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198662
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】アライメント精度の高いプローブ装置を提供する。【構成】ウェハ上に配列されたチップの電気的特性を測定するためのプローブ装置は、プローブ針12aが配設されたプローブカード12と、ウェハを載置するための回転チャック22と、を具備する。チャック22はXYステージ21に支持される。固定アライメントブリッジ11には固定カメラ13と静電容量センサ14が配設される。ステージ21には移動カメラ23が配設される。チャック22にはターゲット25aが形成された透明板25bが取付けられる。ターゲット25a及びその周囲部は導電性で透明な薄膜25cからなる。ターゲット25aは、カメラ13、23の位置合わせ及び焦点合わせに使用される。薄膜25cは静電容量センサ14による高さ検出に使用される。
請求項（抜粋）：
被検査基板上に配列された複数のチップの夫々の電気的特性を測定するためのプローブ装置であって、前記基板上の前記チップに接触するための複数のプローブ針が配設されたプローブカードと、前記プローブ針を介して前記チップの電気的特定を試験する手段と、前記プローブカードに対向して配置され且つ前記基板を載置するための、X軸、Y軸、Z軸及びθ回転方向に移動可能なチャックと、前記チップの位置を光学的に検出するための第1検出手段と、前記プローブ針の位置及び高さを光学的に検出するための第2検出手段と、前記チップの高さを検出するための静電容量センサと、前記第1及び第2検出手段により位置検出可能に設けられたターゲットと、前記第1及び第2検出手段、静電容量センサ、並びにチャックの動作を制御すると共にこれらからの情報に基づいて前記チップと前記プローブ針と距離を算出するプロセッサと、を具備するプローブ装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
