特許
J-GLOBAL ID:200903067422208707
インクジェットヘッドの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-347253
公開番号(公開出願番号):特開2000-168094
出願日: 1998年12月07日
公開日(公表日): 2000年06月20日
要約:
【要約】【課題】 アクチュエータ基板のコストを低減でき、かつ複数のアクチュエータ基板を能率良く加工できるインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。【解決手段】 アクチュエータ基板2の全面に導電層を形成し、その導電層の一部を除去して、噴射チャンネル12内に電極5B、ダミーチャンネル11内に電極5Aをそれぞれ形成する。アクチュエータ基板2の後端面2Bの導電層の一部を除去して電極5Bと分離し、その導電層を全電極5Aと接続した導電パターンとする。アクチュエータ基板2の後端面2Bを絶縁性のプレート17により被覆し、プレート17の噴射チャンネル12に対応する部分に開口17Aを設ける。
請求項(抜粋):
アクチュエータ基板に、インクを噴射する噴射チャンネルと、その噴射チャンネルに隣り合って設けられ、かつインクを噴射しないダミーチャンネルと、電荷により変形して前記噴射チャンネル内のインクを加圧する圧電側壁と、その圧電側壁に設けられた複数の電極と、その電極を制御手段にそれぞれ接続する複数の導電パターンとが形成されたインクジェットヘッドの製造方法であって、前記アクチュエータ基板の少なくともインクが供給される面に、前記導電パターンの少なくとも一部となる導電層を前記電極と接続した状態で形成する第1工程と、前記導電層の一部を除去して、前記噴射チャンネル内の前記電極と前記ダミーチャンネル内の前記電極とを電気的に分離することにより、前記導電層を前記導電パターンの一部となす第2工程と、前記アクチュエータ基板のインクが供給される面を絶縁性の板状部材により被覆する第3工程と、前記第3工程の後、前記板状部材の前記噴射チャンネルに対応する部分にインクを供給するための開口を設ける第4工程と、を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件):
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
FI (2件):
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
Fターム (15件):
2C057AF04
, 2C057AF24
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG29
, 2C057AG45
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP22
, 2C057AP23
, 2C057AP25
, 2C057AP54
, 2C057BA03
, 2C057BA14
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