特許
J-GLOBAL ID：200903067446396369
ポジ型感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-097030
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225477
出願日： 1994年04月12日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【構成】フェノール類と1,2-ナフトキノンジアジドスルホニルクロライドとの縮合反応により得られる、感放射線性化合物とアルカリ可溶性樹脂とを含有するポジ型感放射線性樹脂組成物を得、この組成物を溶媒に溶解し、シリコンウェハーのような基板上に塗布、乾燥させた後、微細パターンの描かれたマスクを通して紫外線等の放射線を照射し、さらにベークを行いついでアルカリ水溶液で現像処理することにより、樹脂パターンを得る。【効果】本発明のポジ型感放射線性樹脂組成物は感度、解像性が極めて高く、得られた樹脂パターンは、形状も優れているため半導体集積回路の製造に極めて有用である。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂及び式(1)【化1】(式中Rは水素原子、アルキル基又はフェニル基を示し、Dは水素原子又は1,2-ナフトキノンジアジド-5-(及び/又は-4-)スルホニル基を示す。)で示される感放射線性化合物を含有することを特徴とする、ポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (2件)：
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