特許
J-GLOBAL ID:200903067452121711

サンプルの磁気モーメントを感知するための方法およびトルク磁力計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 深見 久郎 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-067114
公開番号(公開出願番号):特開平10-319104
出願日: 1998年03月17日
公開日(公表日): 1998年12月04日
要約:
【要約】【課題】 非常に小さな異方性サンプルの磁化を測定する一体化された圧電抵抗性レバーを用いるトルク磁力計を提供する。【解決手段】 サンプル保持プラットフォームが、圧電抵抗器を備える並列する脚により基板から片持状態にされる。圧電抵抗器を含むホイートストンブリッジ全体は、磁力計の基板上に一体化されている。代替実施例では、ホール効果エラー信号を排除する態様で、ブリッジの導体に特定的な出力接続が行なわれている。
請求項(抜粋):
テストチャンバ内で印加される変化する磁界の存在下で、サンプルの磁気モーメントを感知するためのトルク磁力計であって、前記磁力計は、非導電性の基板の一端縁から延びる片持トルクレバーとともに形成される非導電性基板を含み、前記基板はテストチャンバ内に取外し可能に装着されるよう構成され、前記トルクレバーは、前記一端縁から他端方向に突出するサンプル保持パドルと、前記パドルと前記一端縁とを接続するブリッジ手段とを含み、前記磁力計はさらに、前記ブリッジ手段上に表面装着される平行に間隔をおいて位置付けられる1対の圧電抵抗器と、印加される磁界のサンプルに対する物理的影響を表わす出力信号を生成するため、サンプル上の磁気的に引き起こされたトルクによって生ずる前記パドルのねじれからくる抵抗の変化を示す前記圧電抵抗器からの信号を検出、比較および処理するための、前記基板上の手段と、前記出力信号を外部信号処理回路に接続するための、前記基板上の出力端子と、前記圧電抵抗器に電力を印加するための、前記基板上の入力端子とを含む、サンプルの磁気モーメントを感知するためのトルク磁力計。
IPC (2件):
G01R 33/12 ,  G01N 37/00
FI (2件):
G01R 33/12 Z ,  G01N 37/00 G
引用特許:
審査官引用 (3件)
引用文献:
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