特許

J-GLOBAL ID：200903067452207950

板波超音波デバイスおよび板波超音波粘性センサ

発明者： 戸田 耕司
出願人/特許権者： 戸田 耕司
代理人 (1件)： 本庄 伸介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-148642
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322736
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】 液体の粘度に対応して板波の速度が変化する板波超音波デバイスを提供する。【構成】 すだれ状電極2にrfパルスを入力すると、すだれ状電極3の方向にSH波が励振される。SH波は、金属薄膜4上に液体が負荷されている圧電セラミック1を伝搬する。SH波の伝搬速度は液体の粘度と相関することから、参照試料および被測定試料の負荷状態での速度差から被測定試料の粘度を算出できる。【効果】 微量の試料で測定が可能で、操作が簡単で、測定時間が短く、小型軽量で、試料に対する電気的影響(誘電性や導伝性など)および機械的影響(密度や体積弾性率など)を排除することができ、感度が良く微妙な粘性変化も検知できる粘性センサ(たとえば板波遅延線発振器など)を構成することができる。

請求項（抜粋）：

互いに平行な2つの板面を有する圧電基板の一方の板面上に少なくとも2組のすだれ状電極を設けて成り、前記2つの板面のうちの少なくとも一方の少なくとも一部分が金属薄膜で覆われている板波超音波デバイスにおいて、前記すだれ状電極は、零次対称モードSH波の波長にほぼ等しい電極周期長を有し、前記圧電基板における前記金属薄膜で覆われた部分は、少なくとも前記板面における前記SH波の伝搬路上にあり、前記2つの板面の一方かまたは両方に液体が接触されることを特徴とする板波超音波デバイス。

IPC (4件)：

G01N 11/00 ,  G01L 9/00 ,  G01N 29/24 ,  G01N 33/26