特許

J-GLOBAL ID：200903067456547543

高温セラミックナットの締付方法および高温セラミックナット

発明者： ロバート ダブリュー グラント ,  リチャード イー ノバク ,  ジェイムス エス モリナロ
出願人/特許権者： サブミクロン システムズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 千葉 剛宏 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-265177
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312285
出願日： 1992年10月02日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】フレア管をフレア継手に結合するのに使用される酸化アルミニウム製の高温セラミックナットを提供する。【構成】フレア管26は、環状部34を外方へと張り出し始めるフレア32を有する。セラミックナット10のねじ切り内部面20はフレア継手28のねじ切り部38に摩擦により係合、締結されて環状クランプ面25を環状部34に押圧する。これにより、フレア管26とフレア継手28の円筒部36との間を密封する。

請求項（抜粋）：

継手本体を半導体処理装置の所定の位置に配置し、前記継手本体上にフレア管をスライドさせ、前記フレア管上にセラミックナットを係合せしめ、前記継手本体上で前記セラミックナットをねじ止めし、前記フレア管と継手本体の回りで前記セラミックナットを締めて前記フレア継手を固定する工程よりなり、ウエハまたは基板の半導体フロントエンド処理における化学的方法に使用されるフレア管をフレア継手に固定することを特徴とする高温セラミックナットの締付方法。