特許

J-GLOBAL ID：200903067462831547

基板搬送装置およびこれを用いた基板処理装置

発明者： 井関 出 ,  上山 勉
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-095584
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299406
出願日： 2001年03月29日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 薄型基板を確実に保持して搬送することができるようにする。【解決手段】 本発明に係る基板搬送装置1は、極性の異なる永久磁石6,7が埋め込まれたリング状の第1部材4と第2部材5とを備え、磁力の吸引力を利用して両部材4,5で基板Wを挟持して基板処理部2に搬送するので、基板Wが撓んだり、振動したりすることによって、基板Wが搬送中に脱落することがない。処理ステージ2A上では、第1部材4を基板Wから離脱させて処理を行う。

請求項（抜粋）：

磁力によって互いに吸引力を発揮する第1部材と第2部材とを備え、前記両部材で基板を挟持して基板を搬送することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/00 ,  B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  G02F 1/13 101

FI (6件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 15/00 A ,  B25J 15/06 S ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 E ,  G02F 1/13 101

Fターム (25件)：

2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  3C007AS01 ,  3C007DS01 ,  3C007FS07 ,  3C007FS08 ,  3C007FT11 ,  3C007GS01 ,  3C007GS12 ,  3C007NS09 ,  3C007NS10 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA10 ,  5F031GA12 ,  5F031GA15 ,  5F031GA16 ,  5F031GA47 ,  5F031PA18