特許
J-GLOBAL ID：200903067463999522
内圧調整機構付き薄板収納容器
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
工藤 宣幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-298161
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139421
出願日： 1995年11月16日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【課題】 最適な内圧調整をすると共に再使用及びリサイクル処理を容易にする。【解決手段】 多数の半導体ウエハ12を内部に収納支持する容器本体13と、この容器本体13内に半導体ウエハ12を収納した状態で施蓋して内部を清浄な状態に保つ蓋体14とを備えた内圧調整機構付き薄板収納容器である。容器本体13若しくは蓋体14又はそれらの境界のいずれかに開口26を設け、この開口26に着脱可能にフィルタ27を装着する。フィルタ27はキャリアボックス11の内外で、塵埃等を除去しながら気体の通過を許容してキャリアボックス11の内圧を調整する。この開口26とフィルタ27とで内圧調整機構25が構成されている。
請求項（抜粋）：
多数の薄板を内部に収納支持する容器本体と、この容器本体内に薄板を収納した状態で施蓋して内部を清浄な状態に保つ蓋体とを備えた薄板収納容器において、前記容器本体若しくは蓋体又はそれらの境界に設けられ内外側を連通して気体の出入りを許容し内部の気圧を調整する開口と、この開口に着脱可能に装着され塵埃等を除去して気体の容易な通過を許容するフィルタとからなる内圧調整機構を備えたことを特徴とする内圧調整機構付き薄板収納容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
