特許
J-GLOBAL ID：200903067465043396
3次元形状測定装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-332002
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160038
出願日： 1997年12月02日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】被測定物の異なる部分の表面形状を同時に測定することができる3次元形状測定装置を提供する。【解決手段】 2組のプローブ21u,21dと、この2組のプローブを、夫々独立に3次元的に移動させるための2組の移動機構25u,25d,31,34と、2組のプローブの夫々の位置を測定する2組の測定装置4u,4d,5u,5d,6u,6dとを具備し、2組のプローブを夫々被測定物1の異なる位置に接触させ、被測定物1の2つ以上の部分の表面形状を同時に測定する。
請求項（抜粋）：
【請求項1】 2組のプローブと、該2組のプローブを、夫々独立に3次元的に移動させるための2組の移動手段と、前記2組のプローブの夫々の位置を測定する2組の測定手段とを具備し、前記2組のプローブを夫々被測定物の異なる位置に接触させ、該被測定物の2つ以上の部分の表面形状を同時に測定することを特徴とする3次元形状測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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