特許

J-GLOBAL ID：200903067467609427

静電アクチュエータとその駆動方法

発明者： 小野 淳一 ,  工藤 成史 ,  松崎 一成
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-244586
公開番号（公開出願番号）：特開平8-084485
出願日： 1994年09月12日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構造で、かつ小型の静電アクチュエータを得る。【構成】 半導体材料に所定の不純物をドープしてなるpn接合5が2次元のマトリクス状に配置された電磁波-電気変換素子7とその表面に積層された絶縁性磁気薄膜8とからなる固定子1と、エレクトレット10の表面に固定子の絶縁性磁気薄膜と対向する面が同極性になるよう積層された絶縁性磁気薄膜9からなる移動子2とを備えた構成にし、移動子の近傍に位置する電磁波-電気変換素子に電磁波を照射して電荷を生じさせ、この電荷と移動子のエレクトレットによる電界とによって発生する吸引力または反発力と、固定子と移動子の2つの絶縁性磁気薄膜による反発力とにより移動子を2次元的に駆動させるようにしている。

請求項（抜粋）：

半導体材料に所定の不純物をドープしてなるpn接合が2次元のマトリクス状に配置された電磁波-電気変換素子とその表面に積層された絶縁性磁気薄膜とからなる固定子と、エレクトレットの表面に前記固定子の前記絶縁性磁気薄膜と対向する面が同極性になるよう積層された絶縁性磁気薄膜からなる移動子とを備えたことを特徴とする静電アクチュエータ。