特許

J-GLOBAL ID：200903067474690493

処理装置

発明者： 小山 勝彦 ,  山本 博之
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-104436
公開番号（公開出願番号）：特開2004-311781
出願日： 2003年04月08日
公開日（公表日）： 2004年11月04日
要約：

【課題】大気雰囲気である搬入領域と清浄度の高い雰囲気である搬送領域とが隔壁により区画され、密閉型のキャリアを搬入領域に搬入して隔壁に当接させ、キャリア内からウエハを搬送領域側に取り出して例えば熱処理を行う場合に、スループットが高く、キャリア内への外気の巻き込みを防止すること。【解決手段】隔壁の開口部の周囲に窒素ガス供給管を設けると共に、開口部の中央の上下にウエハの飛び出し検出部をなす発光部及び受光部を設け、更に搬送領域に配置されたウエハ搬送機構に進退自在にマッピングセンサを設ける。そしてキャリアを隔壁に当接させて蓋を開いた後、扉を閉めた状態で窒素ガス供給管からの窒素ガスによりキャリア内の雰囲気を置換し、次いでウエハの飛び出しがないことを確認した後、マッピングセンサを前進させてキャリア内に進入させる。【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

複数の基板が収納され、前面の取り出し口が蓋体により気密に塞がれた収納容器が搬入される搬入領域と、この搬入領域とは異なる雰囲気に維持された移載領域と、前記搬入領域と移載領域とを区画する隔壁と、この隔壁に形成された開口部を開閉する扉と、を備え、前記収納容器を搬入領域側から前記開口部に当接させ、前記扉及び蓋体を開いて収納容器内の基板を移載領域側の基板移載機構により移載領域側に配置された基板保持具に受け渡し、基板の処理が行われる処理装置において、 前記開口部に当接された収納容器の蓋体を開いた後、収納容器から基板が飛び出しているか否かを検出する飛び出し検出部と、 この飛び出し検出部により飛び出しがないことが検出された後に、前記収納容器内に進入し、収納容器内の各基板保持位置における基板の有無を検出する基板検出部と、を備えたことを特徴とする処理装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B65G49/00 ,  H01L21/22

FI (5件)：

H01L21/68 L ,  H01L21/68 T ,  B65G49/00 C ,  H01L21/22 511J ,  H01L21/22 511Q

Fターム (19件)：

5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA36 ,  5F031HA61 ,  5F031JA05 ,  5F031JA23 ,  5F031JA36 ,  5F031MA28 ,  5F031MA30 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031NA09 ,  5F031NA10