特許
J-GLOBAL ID：200903067476254887
セラミック基板の焼結状態監視方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-048943
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258224
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は、セラミック基板パターン部のガラス量を定量的に求めることにより、セラミック基板の焼結状態を定量的に監視する手段を提供することにある。【構成】焼結後のセラミック基板1の表面を研磨したあと、光源3,センサ4,偏光子5,検光子6,レンズ群10a,b,c、ハーフミラー11などからなる光学系により検出した画像を画像処理部7で処理することにより、セラミック基板パターン部のガラス量を求め、これを焼結状態情報とすることにより達成される。
請求項（抜粋）：
焼結後のセラミック基板を研磨し、表面に露出した金属面の向きをほぼ一様に揃え、それらの面の法線方向から照明/検出した画像Aと、特定の方向にのみ振動している偏光の照明をし、その照明光の振動方向と直交方向に振動している光のみを検出した画像Bの2つの画像を得、これら2つの画像から画像処理によってガラス量を検出し、これをセラミック基板の焼結状態の監視情報とすることを特徴とするセラミック基板の焼結状態監視方法。
IPC (2件)：
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