レーザ光測定装置およびそれを用いたレーザ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-357642
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053358
出願日： 1999年12月16日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】レーザ光の強度および/またはレーザ光の光軸のずれを測定できるレーザ光測定装置を得る。また、レーザ装置にこのレーザ光測定装置を用いて、異常のあるレーザ発振器等を簡単に判別でする。【解決手段】レーザ光測定装置134は、レーザ光のビームを通過させる貫通孔141をもつピンホール部材140と、レーザ光の出力を測定する第1のレーザ強度測定器142とを備え、レーザ光の光軸がずれた場合に、ピンホール部材によりレーザ光が一部遮られて、貫通孔を通過するレーザ光の強度が変化するようにしたものである。

請求項（抜粋）：

レーザ光のビームを通過させる貫通孔をもつピンホール部材と、上記ピンホール部材を通過した上記レーザ光の出力を測定する第1のレーザ強度測定器とを備え、上記レーザ光の光軸がずれた場合に、上記ピンホール部材により上記レーザ光の一部が遮られて、上記貫通孔を通過する上記レーザ光の強度が変化するようにしたことを特徴とするレーザ光測定装置。

IPC (3件)：

H01S 3/00 , B23K 26/00 , G01J 1/02

FI (3件)：

H01S 3/00 G , B23K 26/00 M , G01J 1/02 K

Fターム (43件)：

2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065AB04 , 2G065AB09 , 2G065AB14 , 2G065BA01 , 2G065BB02 , 2G065BB11 , 2G065BB14 , 2G065BB21 , 2G065BB22 , 2G065BB26 , 2G065BB27 , 2G065BC03 , 2G065BC13 , 2G065BC14 , 2G065BC20 , 2G065BC28 , 2G065BD02 , 2G065BD03 , 2G065BD04 , 2G065BD06 , 2G065CA27 , 2G065DA05 , 2G065DA10 , 2G065DA20 , 4E068CA06 , 4E068CA18 , 5F072AB01 , 5F072JJ05 , 5F072JJ11 , 5F072JJ20 , 5F072KK09 , 5F072KK12 , 5F072KK15 , 5F072KK30 , 5F072MM05 , 5F072PP07 , 5F072QQ02 , 5F072SS06 , 5F072YY01 , 5F072YY03 , 5F072YY06

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