特許

J-GLOBAL ID：200903067492825258

熱処理炉

発明者： 保坂 英二
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-074859
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260744
出願日： 1998年03月09日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】炉内の冷却に要する時間を大幅に短縮しスループットを向上させると共に炉内の上方と下方とで冷却に要する時間の差をなくし被処理基板の製品品質の均一化を図る。【解決手段】上端が閉塞された筒状のヒータ15と、該ヒータ内に配設された反応管6と、前記ヒータと反応管とが成す空間14に連通され該空間より雰囲気ガスを排出する排熱系とを具備する熱処理炉に於いて、前記ヒータの成型断熱部材19中に上下に伸びる冷却媒体導入路25を所要数設け、前記成型断熱部材より前記冷却媒体導入路迄貫通する様急冷吹出口24を穿設し、前記冷却媒体導入路下端より冷却媒体を供給する様構成し、排熱系に加え、急冷導入ブロア、急冷導入孔、急冷吹出口を設けたことにより冷却空気を炉内全域に亘って均等に導入することができるので炉内の冷却に要する時間が大幅に短縮できスループットが向上すると共に炉内の上方と下方とで冷却に要する時間の差をなくすことができ被処理基板の製品品質の均一化が図れる。

請求項（抜粋）：

上端が閉塞された筒状のヒータと、該ヒータ内に配設された反応管と、前記ヒータと反応管とが成す空間に連通され該空間より雰囲気ガスを排出する排熱系とを具備する熱処理炉に於いて、前記ヒータの成型断熱部材中に上下に伸びる冷却媒体導入路を所要数設け、前記成型断熱部材より前記冷却媒体導入路迄貫通する様急冷吹出口を穿設し、前記冷却媒体導入路下端より冷却媒体を供給する様構成したことを特徴とする熱処理炉。

IPC (3件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

H01L 21/22 511 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 E