特許
J-GLOBAL ID：200903067498391357
真空型フーリエ変換赤外分光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-343867
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194231
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【構成】赤外光源1,赤外光2を反射,集光する反射光学系,干渉計,試料13,検出器18を全て搭載した1枚の基板19と、基板19を内部に設置した真空容器20と試料導入系22及びデータ処理,制御系28からなる。【効果】真空排気に起因した装置の歪み,変形による赤外光のアライメント変化を除去することができ、10nm程度以下の非常に薄い試料や微量試料の測定の際のスペクトルのS/Nが向上し、単分子程度の薄膜まで定性,定量可能となる。
請求項（抜粋）：
赤外光源と、前記赤外光源からの赤外光を集光,反射,拡大する為の凹面鏡,平面鏡からなる光学系と、固定鏡及び移動鏡と半透鏡からなる干渉計と、干渉された赤外光を試料に照射,集光するための光学系及び試料保持具と、試料を透過,反射した赤外光を赤外検出器に導入するための光学系と、赤外検出器と、検出器から出力される干渉信号をフーリエ変換して赤外スペクトルを得るデータ処理系からなるフーリエ変換赤外分光装置において、前記赤外光源から検出器までの全ての赤外光学系と干渉系駆動機構を、一体となった一基板上に搭載し、この基板を真空に保持できる容器中に設置することにより、外部との圧力差に起因する外側容器の歪み、変形の影響が赤外測定部に伝わらない構造をもつ事を特徴とする真空型フーリエ変換赤外分光装置。
IPC (3件)：
G01J 3/45
, G01N 21/45
, G01J 3/02
