特許

J-GLOBAL ID：200903067503253600

浮遊コンタミネーション採取装置及びそれを利用した浮遊コンタミネーション分析方法

発明者： 工藤 和夫
出願人/特許権者： 株式会社大真空
代理人 (1件)： 倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-085193
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286598
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】 クリーンルーム内で浮遊するコンタミのみを効率良く採取し、コンタミの発生源を特定するのに有効な分析を行うことを可能にする浮遊コンタミ採取装置及びその装置を利用した浮遊コンタミ分析方法を提供する。【解決手段】 クリーンルーム内の所定領域の空気を導入するダクト部材5、このダクト部材5内の通路51に配設されてコロナ放電によりコンタミを採取する針状電極61,62を備えさせる。針状電極62に吸引付着されたコンタミを分析してその材質を知得する。この知得されたコンタミの材質に基づいてコンタミ発生源を特定し、このコンタミ発生源を改良することによってコンタミ削減に役立てる。

請求項（抜粋）：

クリーンルーム内を浮遊するコンタミネーションを分析するために採取する浮遊コンタミネーション採取装置であって、上記クリーンルーム内を浮遊するコンタミネーションをコロナ放電によって帯電させる帯電手段と、この帯電手段によって帯電されたコンタミネーションを、材質分析のために採取する針状電極とを備えていることを特徴とする浮遊コンタミネーション採取装置。

IPC (4件)：

G01N 1/22 ,  B03C 3/41 ,  B03C 3/45 ,  G01N 27/60

FI (4件)：

G01N 1/22 A ,  B03C 3/41 B ,  B03C 3/45 Z ,  G01N 27/60 C

Fターム (12件)：

2G052AA03 ,  2G052AA40 ,  2G052AD04 ,  2G052BA05 ,  2G052BA24 ,  2G052ED03 ,  2G052ED09 ,  2G052HC03 ,  2G052HC25 ,  2G052JA04 ,  4D054AA14 ,  4D054BB04